ターボ分子ポンプ(ハイブリッドベアリング) | 伯東株式会社真空関連機器紹介ページ

■ターボ分子ポンプとは

　高速回転するローター(動翼)と固定翼(ステーター)が交互に並ぶ構造をしており、気体分子がローターに当たると次段のステーターへ向かって飛んでいきます。これを繰り返すことで排気を行う気体移送式の真空ポンプです。
高真空(< 1 x 10^-1Pa) が必要とされるアプリケーションで、ロータリーポンプなどのバックポンプと組合わせて使用され、高真空側にオイルを使用していないため、クリーンな真空が得られます。
　世界で最初のターボ分子ポンプの開発は、1958年にファイファーバキュームのエンジニア、ウィリー‧ベッカー博士が発明し、これがすべてのターボ分子ポンプの原型となりました。

■ターボ分子ポンプの動作原理について

　ターボ分子ポンプの内部構造や動作原理の解説動画がございます。
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　真空基礎講座では、ターボ分子ポンプを始めとする各種真空機器(各種真空ポンプ、真空計、質量分析計等)の内部構造や動作原理、特徴など、真空技術の基礎について動画を用いて解説しています。オンデマンド（録画）配信ですので、いつでも好きな時間に視聴することができます。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

■ファイファーバキューム社ターボ分子ポンプの特徴

トップクラスの基本性能
圧縮比、到達真空度、ガス流量など
２種類の高信頼性軸受け方式
高真空側で永久磁石、の排気側でセラミックベアリングで構成されたハイブリッド軸受け
設置環境に合わせて仕様選択可能
- ドライブ回路搭載 (※電源搭載モデルあり)
  省設置スペース、省ケーブル、省コスト
- ドライブ回路切離しタイプ
  設置環境、設置スペースの自在性
アクセサリー類自動認識 (プラグ & プレイ)
面倒な設定作業が不要
ワールドワイドサービス
世界で60か所を超える拠点でのサービスに対応

HiPace 型TMP ハイブリッドベアリング方式

製品紹介カタログ(英文)

■ハイブリッドベアリング方式について

　ハイブリッド・ベアリング・サスペンションは、40年以上前にファイファーバキュームによって発明され、永久磁石式ベアリングとセラミックボールベアリングで構成されています。
　ファイファーバキュームは、この設計で100万台以上のポンプを製造し、最高の信頼を獲得しました。
　磁気軸受側は、超高真空（10^-10hPa以下）を達成するために、炭化水素を含まないラジアルローターの安定化に必要です。
　対向するセラミックベアリングはローターをラジアル方向とアキシャル方向の両方で強力に安定させ、大気開放や外部振動などの強い衝撃に耐えることができます。
　専用オイルリザーバーは、常時ろ過により信頼性を確保すると同時に、ローターの熱をに効率的に逃がすことができます。