スクロールポンプ(HiScroll®シリーズ)－よくあるご質問

■考えられる原因
・電気の供給が遮断された
・動作電圧が正しくない
・電子駆動ユニットの故障

■解決方法
・電流供給ラインを確認してください。
・正しい動作電圧を供給してください。
・Pfeiffer Vacuum社サービスセンターにお問い合わせください。

■考えられる原因
・真空ポンプのリーク
・ガス流量が多すぎる
・ローターがスムーズに動かない
・ベアリングの異常
・以下の原因による熱負荷
　ー 換気不足
　ー 周囲の温度が高すぎる

■解決方法
１．リーク検査を行ってください。
２．シールとフランジの接続を確認してください。
３． リークをなくしてください。

・プロセスガスの負荷を減らしてくさい。
１． 真空ポンプに騒音が発生していないかを確認してください。
２．Pfeiffer Vacuum社サービスセンターにお問い合わせください。

１． ファンが動作しているかを確認してください。
　ーファン接続ケーブルの接続状態や損傷を確認してください。
２．熱負荷を低減してください。
　ー空気供給が十分であることを確認してください。
　ー周囲環境に合わせて調整してください。

■考えられる原因
・真空ポンプが汚染されている
・真空チャンバー、配管、真空ポンプにリークがある
・圧力測定が正しくない、または校正されていない
・吸引チャンバー内の凝縮水
・チップシールの密封・チップシールが十分に馴染んでいない（例：チップシール交換後）

■解決方法
１．Pfeiffer Vacuum社サービスセンターにお問い合わせください。
２．クリーニングを依頼してください。

１．真空チャンバーから順にリーク検査を行ってください。
２．シールとフランジの接続を確認してください。
３．真空システムのリークをなくしてください。
・圧力測定の設定を確認してください。
・内蔵の圧力センサーを校正してください。
ー基準値の測定には真空計を使用してください。

１．プロセス媒体を確認してください。
２．スクロールポンプをガスバラストで運転してください。
・Pfeiffer Vacuum社サービスセンターにお問い合わせください。
・チップシールを交換してください。
・真空ポンプを無負荷状態でしばらく運転してください。

■考えられる原因
・ベアリングの破損
・ローターの破損
・スパイラルエレメントの汚染や破損

■解決方法
１．Pfeiffer Vacuum社サービスセンターにお問い合わせください。

■考えられる原因
・グループエラー

■解決方法
１．オフ／オンボタンを押して、エラーをリセットしてください。
２．RS-485インターフェイスによりパラメータ[P: 010]を0＝「オフ」にした後、1＝「オンで障害確認」に設定してください。
３．「リモート」接続のピン13をV+にして、障害をリセットしてください。
４．RS-485インターフェイスによりパラメータ[P:009]を1＝「障害確認」に設定してください。
５．電流供給をオフにしたあと再度オンにして、障害をリセットしてください。
６．表示／制御ユニットを使って、差分障害分析を行ってください。
７．Pfeiffer Vacuum社サービスセンターにお問い合わせください。