真空計-よくあるご質問

※以下のQ&Aは簡易的な情報となり、装置付属の正式マニュアルの情報が優先されます。
 ご不明な点・あいまいな点がございましたらお気軽に「お問い合わせフォーム」よりご連絡ください。

アクティブライン、デジライン、モジュールラインの違いは何ですか?

・一般的に以下のような違いがあり、用途に適したシリーズをご選択いただけます。
 アクティブライン:最も汎用的なシリーズで、測定した真空度をアナログ直流電圧(0~10V)で出力します。
 デジライン:RS485通信を採用しており、複数台の測定子を直列伝送方式で接続出来ます。また、ファイファー社他製品と共通のプロトコルで通信ネットワークを構築可能です。
 モジュールライン:クラシックスタイルを採用し、特に高い真空度の測定に適しています。また、測定子自身に電子部品を搭載しないことで放射線環境下での使用に耐性があります。

PKR360とPKR361の違いは何ですか?

・使用する圧力範囲に適した設計で選択可能です。
 PKR360:イオン化電流値を抑えることにより、特定条件(例: 1E-1Pa前後)の測定に耐性を持たせています。
 PKR361:一般的な真空度測定に適しています。

ヘリウムを導入したら実際と圧力が異なるのですが?

・特定の真空計(※)を除き、測定対象となるガス種によるイオン化効率の違いから、測定値を補正する必要があります。
(例) 各種真空計のガス補正係数(詳細はマニュアルをご参照ください。)

PKR36xタイプのガス補正係数
PKR36xタイプ(高真空側)のガス補正係数
IKR36xタイプのガス補正係数
IKR36xタイプのガス補正係数
TPR370タイプのガス補正係数
TPR370タイプのガス補正係数

※隔膜方式等のガス種に依存しない直接測定方式の真空計:APR/CMR/CCRシリーズなど

複合型ゲージのメリットとデメリットは?

・メリット:測定方式のスムーズな切り替えにより、1つの測定子で大気圧から高い真空度まで省スペース、省コストで実現しています。
・デメリット:測定領域やアプリケーションに合わせた測定範囲の柔軟な設定や配置等の自由度が低下します。また、単一の測定方式の真空計と比べ、多少性能が低下します。

真空度が-1Pa台付近で止まってしまい、それ以上良くなりません・・・

・低真空側をピラニ方式、高真空側をコールドカソード方式等を使用する複合型ゲージの場合、内部の汚れ等から高真空側測定方式への切り替えに問題が生じていると考えられます。ゲージのオーバーホールや修理をご検討ください。

測定チャンバ(measuring chamber)の交換方法は?(IKR / PKR 36x)

IKR / PKR 36x

リンク先の動画をご参照ください。
How to replace the measuring chamber of the ActiveLine IKR / PKR 36x gauges
(動画内の注釈は英語表記です。ご不明な場合はお気軽にお問い合わせください。)

製品の形式やシリアル番号の確認方法は?

・真空計または真空計コントローラーに貼られているラベル情報を参照願います。
 複数のラベルある場合はそれぞれの記載内容をご確認の上、必要に応じてご連絡ください。

SN-真空計

(真空計の記載例)
Mod:製品名称
P/N:製品詳細形式
S/N:製品固有のシリアル番号

SN-真空計コントローラー

(真空計コントローラーの記載例)
Mod:製品名称
P/N:製品詳細形式
S/N:製品固有のシリアル番号

アクティブライン真空計測定子の四角いコネクタ部品は購入可能ですか?

・販売しております。弊社までご相談ください。

製品に貼ってある[warranty seal]ラベルをはがしても良いですか?

・製品に貼られているラベルは剥がさず、そのままご使用願います。特に、以下のラベルを保証期間中に剥がされた場合、保証対象外となりますこと、ご了承ください。

warranty seal

製品の故障時の連絡先は?

・以下のURLより弊社サービスセンターにご連絡ください。
https://www.hakuto-vacuum.jp/service-support/

 送付先および修理ご依頼時のフォーム等もご確認いただけます。

ご相談・ご質問等ございましたら、お気軽にお問い合わせください。03-3225-8938

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