ASM390 / ASM392 リークディテクター

・最高のパフォーマンス

580 l/m (35 m³/h)の非接触ドライ・ルーツポンプを搭載した最上級のモデルです。25 l/s のヘリウム排気速度を誇るレスポンスが早いディテクターです_※1。

・クリーンルーム現場向けのオイルフリー非接触ポンプを使用

ファイファーバキューム独自の非接触ポンプ技術を生かして微小粒子や不純物の排出を最低限に抑えた設計です。クリーンルーム環境の汚染を低減します。

・SEMI S2半導体業界規格に基づく

半導体製造装置の環境、健康、安全に於ける要求事項であるSEMI S2が定める基礎的ガイドラインを満たしています。

※１ ASM392モデル