■スピニングローターゲージとは
スピニングローターゲージ（SRG）システムは、測定ヘッド、制御/読み出しユニット、圧力センサーとして機能する4.5mmボールベアリングボールを含むステンレススチール製測定管で構成されています。
測定ヘッドには、浮上、振動減衰、加速、センサーボールの速度感知に必要な磁石とコイルシステムが含まれており、温度センサーも搭載されています。
測定管の一端は密閉されており、他端は溶接またはフランジ接続によって真空チャンバーに取り付けます。センサーは、外部への機械的または電気的なフィードスルーを必要としません。
測定には、センサーボールを磁場によって浮上させ、600 rps以上の速度まで加速、その後惰性で回転、測定管内の入射ガス分子からの接線方向の運動量移動による抗力（分子抗力）を受けることによるセンサーボールの減速率を利用します。
■スピニングローターゲージのキー・アプリケーション
- 標準校正
- 真空断熱(冷凍技術・液化ガス・超電導)
- フリーズドライ
- 真空成膜(半導体/光学)
- その他
■製品ラインナップ
DosiTorr ～スピニングローターゲージ～
■電子イオン化イオン源搭載型、コンパクトな高速・高感度質量分析計
DosiTorrは、実証済みの試験済みコンポーネントをベースにした新しいタイプのSRGトランスデューサーです。SRGは回転するボールと相互作用するのは電磁力だけであるため、磨耗がなく、室温で作動し、極めて長期的な安定性を持ち、プロセスの妨げとなるイオン、プラズマ、熱（熱電対／ピラニ）、粒子など一切発生しません。また、インコネルやセラミック膜のような、変形する可能性のある機械的応力のかかる部品はありません。
改良された読み取りヘッドの設計により、信頼性の高い測定が可能です。DosiTorrは、従来のスピニングローターゲージの2倍の磁場（90 mT）を発生します。球体の標準回転周波数は615Hzで、磁場中でのサスペンションがより安定します。この両方の効果により、振動に対する耐性が向上し、センサーチューブのアライメントが完璧でなくなることがよくあります。
測定ヘッドは磁気シールドされており、通常プロセスに影響を与えず、外部磁場の影響を受けません。
VIM-2 ～スピニングローターゲージ/コントローラー付き～
■固定式(グリッド動作)およびモバイル式のバッテリー駆動の高精度で長期安定した真空計
VIM-2はバッテリー駆動の装置で、使い勝手がよく、ほぼ独立して動作し、遠隔操作（Bluetooth経由のアプリ）が可能であり、極低温、真空断熱の液体ガスタンクの測定に特に適しています。電気的なフィードスルーを必要としないため安全で、非常に堅牢で経年劣化に強い全金属製センサーです。他の真空計原理では、高温のフィラメントや高電圧によるイオン化を利用して間接的に圧力を測定するため、以下のような問題が挙げられます。
機械的に安定性が低く、汚染に敏感で、真空圧力の測定自体にも影響（脱ガス/イオン化とスパッタリングによる）を与えてしまうことや、一般に、他のすべての超高真空測定法には、真空部分に電気的フィードスルーと不具合が生じやすい電子部品があります。
一方、SRGはユニークな高精度で長期安定性があり、フィードスルーがなく、常温でシンプルなチューブ内のシンプルな球体で測定でき、真空との相互作用はすべて電磁力です。電源に依存しないVIM-2は、大規模で遠隔の測定場所に完全な機動性を与え、再充電前に数時間動作可能です。また、測定ヘッドはセンサーに特化していないため、互いに交換可能であり、以前に設置されたセンサーとも交換可能である。
IONCheck ～イオンゲージの校正および比較システム～ ※受注生産品
■非侵襲的なマルチチャンネル技術、凍結乾燥プロセスのリアルタイム測定
イオンチェックは、高真空ゲージの校正と比較のための完全なソリューションです。回転ローターゲージは、認定された正確で長期安定した圧力標準として使用されます。ION Checkは、コンパクトでこの用途に最適化されており、オイルフリーで振動絶縁された高真空システム、この圧力領域用のガス注入ユニット、アナログ出力で真空ゲージを読み出し校正するためのハードとソフトウェアで構成されています。
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