ドライポンプ(ダイヤフラム型) | 伯東株式会社真空関連機器紹介ページ

ファイファーバキューム社のダイヤフラムポンプは、様々な用途や市場において、クリーンでドライな真空を提供します。

■ダイヤフラムポンプとは

　ダイヤフラム（隔膜、メンブレン）を上下または左右に往復させて、気体を圧縮させる事により、真空状態を作り出す容積移動式ポンプの一種です。
　ダイヤフラムは柔軟な素材でできていて、前後に動かすピストンなどの機構に接続されています。この動きにより膨張および収縮する気体の流れが発生し、気体を圧縮して排気します。
　オイルフリーのドライポンプなので、ターボ分子ポンプのバックポンプとしてよく使用されます。

■ダイヤフラムポンプの動作原理について

　ダイヤフラムポンプの内部構造や動作原理の解説動画がございます。
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　真空基礎講座では、ダイヤフラムポンプを始めとする各種真空機器(各種真空ポンプ、真空計、質量分析計等)の内部構造や動作原理、特徴など、真空技術の基礎について動画を用いて解説しています。オンデマンド（録画）配信ですので、いつでも好きな時間に視聴することができます。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

■ファイファーバキューム製ダイヤフラムポンプの特徴

　Pfeiffer Vacuum社のダイアフラムポンプは、コンパクトであるため、日々小型化する分析システムや、ターボ分子ポンプシステムへの搭載に最適です。最小0.25m³/hの排気速度から最大排気速度は4.3m³/hまで、豊富な排気速度からお選びいただけます。
　Pfeiffer Vacuum 社のダイアフラムポンプの利点は数多くあり、その効率と信頼性は他に類を見ません。

MVP DCシリーズカタログ(英文)