QMG250 PrismaPro® 四重極質量分析型 残留ガス分析計

EI型四重極質量分析計の原理

・イオンソース形式の選択

　PrismaPro®は、オープン・クローズ・クロスビーム・グリッドの4種類のイオンソースから選択可能です。
　最も一般的なオープン型イオンソースは、分析チャンバー内の残留ガスに対して解放された設計で、高い検出感度を兼ね備えているため、ほとんどの残留ガス分析に適しています。
　また、クローズ型イオンソースは排気ガス等のガス導入分析に適し、クロスビーム型イオンソースは分子流向けで、汚染に強いタイプのイオンソースです。超高真空下での残留ガス測定には、低自己ガス放出タイプのグリッド型イオンソースが適しています。

・フィラメント材質の選択

　フィラメントの材質は、イットリアコートイリジウム^※、もしくはタングステンから選択可能です。
　一般的に大気成分や高濃度の酸素・水蒸気下の測定にはイットリアコートイリジウムフィラメントが適しています。ただし、水素や炭化水素の分圧が高い場合や、超高真空向けの測定にはタングステンフィラメントを選択してください。
　フィラメントの選択は測定圧力・測定ガス種・濃度等複雑な要件が重なるため、材質は将来のフィラメントユニットの交換時に変更することもできます。
^{※グリッド型イオンソースを除く}

・分析管（イオン検出器）の選択

　質量分析計に使用されるイオン検出器は、ガス導入部・真空チャンバー・排気システムの設計に基づく真空システムで実現できる圧力範囲から選択されます。
　高真空領域(<^-4Pa)ではファラデー検出器(Faraday)のみで十分な場合も多いですが、超高真空での測定や広いダイナミックレンジが必要な場合、イオン電流を増倍できる二次電子増倍管(EM)オプションが選択できます。
　PrismaPro®に搭載される二次電子増倍管(EM)は、必要に応じてファラデー検出器と切り替え可能です。ここで、ファラデー検出器は劣化しにくいため、長時間の安定したモニタリング用途にも使用できます。

・EM/Faraday 検出器切替型分析管
　挿入長：199mm（83mm + 116mm 付属短管部）
・Faraday 検出器専用型分析管
　挿入長：143mm
^{※寸法はオープンイオンソース型の場合}

・質量測定範囲の選択

　従来の真空装置では、一般に窒素、酸素、アルゴン、水蒸気などの大気中に多く含まれるガスや、軽質量の炭化水素類の混入分が主な測定対象でした。
　これらのガスを検出するためには、m/z 1～100程度の範囲の質量分離を示す一般的な四重極型質量分析計で十分ですが、高質量の炭化水素や薬品の燃焼ガスなど、より重いガスやその成分を検出する必要がある場合は、m/z 1～200またはm/z 1～300のマスフィルターについても選択することが出来ます。
　測定質量範囲の拡大は、感度・分解能と相反するため、必要最小限の範囲を選択ください。

・I/Oオプション

　PrismaPro®は、標準タイプのI/Oで1系統のアナログ入力、2系統のデジタル入力、1系統のリレー出力をバックパネルに装備。例えば、温度計の電圧出力を温度へ変換して他の計測値と同時の取り込みや、測定の自動開始・停止等が可能です。さらに拡張I/Oオプションで入出力端子の追加と、ファイファーバキューム社の代表的な真空計が直接接続できるコネクタが拡張できます。

・標準I/O
　アナログ入力 x1, デジタル入力 x 2, リレー出力 x 1
・拡張I/O (増加分)
　アナログ出力 x 8, アナログ入力 x 8,
　デジタル出力 x 10, デジタル入力 x 5
　真空計ポート x 1（ActiveLine, AR付DigiLine用）