ルーツポンプ(ACPシリーズ)－よくあるご質問

ACPシリーズドライポンプは、空冷式のルーツタイプのドライポンプです。ACP15/28/40/90と四種類の排気速度のモデルより選択可能です。また、ライトなプロセスガスに対応するため、N₂パージ機能を搭載した仕様や水分が多くポンプ内に入り込むアプリケーション等様々なアプリケーションに対応可能な製品です。

●SD バージョン (ACP15/28/40/90)
非腐食性ガスの排気、及びクリーンな（ダストフリー）な排気を必要とする用途向けに設計されています。 標準ポンプは、軽量ガスの排気能力を向上させてポンプ内での蒸気凝縮を避けるために、ガスバラストを装備しています。 ガスバラストは、ユーザーのニーズに対応できるよう 3 種類のオプションが用意されています。

●G バージョン (ACP15G/28G/40G/90G)
ポンプは微量の腐食性ガスが含まれている場合に使用できます。3 つのパージガスジェットが高圧ベアリングと低圧ベアリングを保護し、微量の腐食性ガスを希釈します。

●CV バージョン (ACP28CV/40CV)
以下のような方法によってポンピングモジュール内部での蒸気凝縮を避けることができるよう、特別に設計されています。
・ポンプを温めて凝縮性ガスを希釈する大流量のガスバラスト
・排気段の最も低い位置から凝縮液を外部に排出するドレン機能付きサイレンサー
・凝縮性蒸気からリップシールとボールベアリングを保護する
ガスパージCV バージョンは、水蒸気対応能力が 1,000g/h まで向上しております。

*お客様のアプリケーション毎に、最適な製品をご提案させていただきます。

CE (自己宣言)、UL61010A-1、CSA-22.2N°1010.1-92、
SEMI S2-0703

ポンプ単体での30分程度暖機運転を実施してください。

機器及び装置メーカー様においては、ポンプも管理されていることが一般的です。つきましては、各機器及び装置メーカー様に、事前に当社にてオーバーホールや修理対応させていただくことに問題なきことをご確認ください。

はい、当社サービスセンターにてACPドライポンプのオーバーホールや修理作業は可能です。ACPシリーズのCPバージョンのみ製造元 (フランス) にて対応しております。

ポンプに負荷や負担の掛からないアプリケーションの場合、メンテナンスの周期は、約2万時間程度です。しかし、お客様のご使用条件、ご使用環境等により、メンテナンスサイクルが変動します。稼働後数ヶ月～4年程度となる場合がございます。

作業：分解～洗浄～組立～リーク検査～出荷前検査
主な交換部品：ベアリング、O-ring等消耗部品。
必要に応じて、ダメージや破損のある部品交換を行います。
尚、修理作業及びポンプ動作テストにて、追加交換部品が発生する可能性がございます。

ポンプが稼働しない場合、下記をご確認ください。ご確認後も稼働しない場合は、当社サービスセンターへご連絡ください。

1. ポンプ付属のリモート制御コネクター (D-SUB 15pin) が差し込まれていない場合、ポンプ後部に差し込み後に再度稼働できるかご確認ください。
2. ポンプ周囲の温度が40℃以上 or 12℃以下の場合、ポンプ周囲の温度を12℃～40℃以内にしていただくようお願いします。

・ポンプ単体での連続運転を実施し、到達真空度に改善が見られなければ、メンテナンスが必要となります。

・ポンプ吸気口配管及びチャンバー内にリークがないかご確認ください。

・ガスバラストバルブが開いているか確認してください。
　ガスバラストバルブが閉じており、通常より動作音が大き
　い場合、定期メンテナンスを推奨させて頂きます。
・ポンプ吸気口配管及びチャンバー内にリークがないかご確認ください。