モジュールラインシリーズ真空計

・洗練されたデザイン
・基本的に、放射線の影響を受けない
・測定子に電子部品が含まれない
・加速器等に適した設計
・オプションでProfibusを用意
・ピラニゲージからコールドカソードゲージへ自動切換え

特長

・2つの測定ボードが使用可能
・最大４つまで測定子を接続可能
・各ゲージの各々に適したケーブル長
・１つのインターフェース及びリレーボードが使用可能
・Profibus可能

特長

・超高真空アプリケーション用
・耐放射線仕様
・測定圧力は8×10^-2 Pa～10⁵ Pa
・ベーキング温度：100℃(TPR010/017)、250℃(TPR018)

特長

・超高真空、耐放射線仕様
・測定レンジ：
　2x10^-7Pa～5x10^-1Pa(IKR050)
　1x10^-8Pa～5x10^-1Pa(IKR060)
　1x10^-9Pa～5x10^-1Pa(IKR070)
・ベーキング温度：150℃(IKR050)、250℃(IKR060/070)

特長

・測定子接続数：2個
・アナログ出力(1対１）
・調整可能な測定サーキット

特長

・外部制御用
・コンピューターとのコミュニケーション

特長

・極真空領域での測定が可能
　IMR420（B-Aゲージ）、測定範囲：2x10 ^-9Pa ～ 1Pa
　IMR430（エクストラクターゲージ）、測定範囲：2x10^-10Pa ～ 1Pa
・ベーキング温度：400℃（ケーブル接続時は200℃）
・専用コントローラーIMG400(2ch)
・ピラニゲージ・キャパシタンスゲージ接続可(2ch)