■真空用バルブとは
真空システムにおいて、ガス流を安全に遮断したり、流入、流出するために使用される機器になります。
真空用バルブは、アイソレーションバルブ、圧力制御バルブの2つに大きく分けられます。
アイソレーションバルブは主に真空引きしたチャンバーなどを封止するために使用されます。また、圧力制御用バルブは開口部の面積を調整することで、任意の真空度を維持するために使用されます。
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■ファイファーバキューム社製の特徴
ファイファーバキュームは、真空における一般的な用途と特定のタスクの両方を満たすバルブを幅広く取り揃えており、ほぼすべてのプロセスで信頼性の高いソリューションを提供します。
手動操作のバルブに加え、自動化プロセス用の圧空式、電磁圧空式、電磁式、モーター操作のバルブも提供しています。
また、人間工学に基づいたグリップや少ない力で操作できるなど、使いやすさを重視し、最大1,000万サイクルの耐用年数を実現することで、お客様の日々の作業をより快適なものにします。
アイソレーションバルブ
アングルバルブ、インラインバルブ、ボールバルブ、ゲートバルブ、手動式バルブを提供しています。バルブには手動式、空気圧で作動する圧空式、電磁式バルブがあります。
圧空式バルブには、リミットスイッチと呼ばれるポジションインジケータの付いたものと、付いていないものがあります。
また、圧空式バルブの派生としてパイロットバルブがあり、これは電気と空気圧で作動するバルブとなります。パイロットバルブとポジションインジケーターがあれば、PLCなどで真空バルブを制御することができます。そのため、例えばアングルバルブは、凍結乾燥、部分乾燥、ガス分離などによく使用されます。
一方、ゲートバルブは一般的にコーティングシステムなど、大きな呼び径（DN100以上）が必要な場所で使用されます。
需要に応じて、これらの真空バルブの多くはアルミニウムとステンレス鋼で製造されています。
主なラインアップ
■アングルバルブ
- 手動式、圧空式、電磁圧空式、電磁式
- 高い気密性、堅牢
- フランジ：DN5-DN160まで
- ハウジング：アルミニウム製、ステンレス製
■インラインバルブ
- 手動式、圧空式、電磁圧空式
- フランジ：DN16-DN40 KF
- ハウジング：ステンレス製
- フランジ：DN10-DN150(ISO-K)まで
■ゲートバルブ
- 手動式、電磁圧空式
- 高いコンダクタンス
- ハウジング：アルミニウム製、ステンレス製
- フランジ：DN16-DN250
- カッパーボンネットタイプは1 - 10-8 Paまでの圧力に適応
圧力調整用バルブ
圧力調整バルブとして、バタフライバルブや振り子バルブを提供しています。スロットルバルブ、バルブコントローラー、真空ゲージといった3つのコンポーネントを組みわせることにより圧力制御が可能になります。
バルブの選択は用途によって異なりますが、それぞれ幅広いフランジサイズがあり、多くのオプション機能・特徴を備えています。
コントロールバルブは、一般的に真空システムにおける圧力制御および測定ガス供給用向けで、半導体やコーティングのアプリケーションに最適です。