ガスケット/O-ringなどの真空用継手から、ビューポート/チャンバー/マニュピュレーターまで真空コンポーネントを幅広く取り揃えております。
■真空コンポーネントとは
真空システムには、チャンバー、ポンプ、真空計、バルブ、フィードスルー、マニピュレーターなど、さまざまな部品があり、それらを組み合わせて1つのユニットを形成する必要があります。
着脱可能で規格を満たすフランジシステムにより、各コンポーネントを接続することができます。
真空コンポーネント(配管部品)の材質・規格について
真空コンポーネント(配管部品)の材質・規格の解説動画がございます。
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真空基礎講座では、ターボ分子ポンプを始めとする各種真空機器(各種真空ポンプ、真空計、質量分析計等)の内部構造や動作原理、特徴など、真空技術の基礎について動画を用いて解説しています。オンデマンド（録画）配信ですので、いつでも好きな時間に視聴することができます。
ファイファーバキューム社真空コンポーネントの特徴
ファイファーバキュームは、多くのアプリケーションとフランジサイズの接続規格を満たす、コンポーネントを提供しています。適切な材料の選択と高品質な製造・洗浄技術により、高い気密性と低いアウトガス率（脱着）といった真空技術の高い基準を満たしています。
また、カタログ製品だけではなく、カスタマイズされたソリューションを提供することも可能です。
■製品ラインナップ
■コンポーネント
・さまざまな接続規格に対応
DN 10~DN 50の小型フランジ(ISO-KF)
DN 63からDN 630のクランプフランジ(ISO-K)
DN 16からDN 350のCFフランジ(CF)
DN 400からDN 800のボルトフランジ(COF)など
・Heにてリークレートを検査済み
ISO-KF& ISO-K/ISO-F :10-10 Pa · m3/s
CF and COF flanges: 10-11 Pa · m3/s
・内側溶接
・低い脱着率
・オプションで表面研削、電解研磨、アニーリングなどの代替表面処理も可能
ISO-KFフランジ説明動画
ISO-K/ISO-Fフランジ説明動画
■ビューポート
ビューポートは、主にプロセス中を含む真空チャンバーの内部を観察するために使用されます。
一般的にはホウケイ酸ガラスが使用されますが、UHV用途や高温環境等、アプリケーションに応じて最適な材質を検討する必要があります。
また電磁波を使用する場合は、ビューポートの透過範囲と光学的特性を考慮して材質を選択する必要があります。
■フィードスルー
・ISO-KF、ISO-Kフランジは10-10 Pa m3/s、
CFフランジは10-11 Pa m3/sより優れたリーク率を実現
・電気、熱電対、流体用のフィードスルー
・回転、直線、回転/直線運動用の機械式フィードスルー
■マニピュレーター
・再現性の高いムーブメント
・長い耐用年数